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Sputtering Targets

Sputtering Targets

Sputtering targets are specialized materials employed for thin-film deposition in various industries, including electronics, energy, and textiles. These targets can be composed of different elemental or alloy compositions, such as pure metals or ceramics, and are bombarded by ions, causing atoms or molecules to be ejected from their surface. These particles then deposit on a substrate to create a thin, uniform film. Different types of sputtering targets exist, including planar or rotary targets and a range of materials, such as gold, silver, titanium, and tungsten. Their selection depends on different factors like the application requirements, material properties, and compatibility with the sputtering system.
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1

Iron sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-89-6 Formule moléculaire: Fe Poids moléculaire (g/mol): 55.85 Numéro MDL: MFCD00010999 Clé InChI: XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Synonyme: ferrum,iron, elemental,ferrous,remko,armco,ferrovac,hoeganaes eh,3zhp,ancor b,atomiron 5m CID PubChem: 23925 ChEBI: CHEBI:82664 Nom IUPAC: iron SMILES: [Fe]

Poids moléculaire (g/mol) 55.85
Synonyme ferrum,iron, elemental,ferrous,remko,armco,ferrovac,hoeganaes eh,3zhp,ancor b,atomiron 5m
Numéro MDL MFCD00010999
CAS 7439-89-6
CID PubChem 23925
ChEBI CHEBI:82664
Nom IUPAC iron
Clé InChI XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Fe]
Formule moléculaire Fe
2

Silver sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-22-4 Formule moléculaire: Ag Poids moléculaire (g/mol): 107.87 Numéro MDL: MFCD00003397 Clé InChI: BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber CID PubChem: 23954 ChEBI: CHEBI:9141 Nom IUPAC: silver SMILES: [Ag]

Poids moléculaire (g/mol) 107.87
Synonyme argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber
Numéro MDL MFCD00003397
CAS 7440-22-4
CID PubChem 23954
ChEBI CHEBI:9141
Nom IUPAC silver
Clé InChI BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ag]
Formule moléculaire Ag
3

Copper sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.999% (metals basis)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer CID PubChem: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom IUPAC: copper SMILES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
CAS 7440-50-8
CID PubChem 23978
ChEBI CHEBI:30052
Nom IUPAC copper
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cu]
Formule moléculaire Cu
4

Cerium sputtering target, 76.2mm dia x 3.18mm thick

CAS: 7440-45-1 Formule moléculaire: Ce Poids moléculaire (g/mol): 140.12 Numéro MDL: MFCD00010924 Clé InChI: GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium CID PubChem: 23974 ChEBI: CHEBI:33369 Nom IUPAC: cerium SMILES: [Ce]

Poids moléculaire (g/mol) 140.12
Synonyme cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium
Numéro MDL MFCD00010924
CAS 7440-45-1
CID PubChem 23974
ChEBI CHEBI:33369
Nom IUPAC cerium
Clé InChI GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ce]
Formule moléculaire Ce
5

Gadolinium sputtering target, 76.2mm dia x 3.18mm thick

CAS: 7440-54-2 Formule moléculaire: Gd Poids moléculaire (g/mol): 157.25 Numéro MDL: MFCD00011022 Clé InChI: UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds CID PubChem: 23982 ChEBI: CHEBI:33375 Nom IUPAC: gadolinium SMILES: [Gd]

Poids moléculaire (g/mol) 157.25
Synonyme atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds
Numéro MDL MFCD00011022
CAS 7440-54-2
CID PubChem 23982
ChEBI CHEBI:33375
Nom IUPAC gadolinium
Clé InChI UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Gd]
Formule moléculaire Gd
6

Silicon(II) oxide sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.9% (metals basis)

CAS: 10097-28-6 Formule moléculaire: OSi Poids moléculaire (g/mol): 44.084 Numéro MDL: MFCD00151536 Clé InChI: LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene CID PubChem: 66241 ChEBI: CHEBI:30588 Nom IUPAC: oxoniumylidynesilanide SMILES: [O+]#[Si-]

Poids moléculaire (g/mol) 44.084
Synonyme silicon monoxide,silylene, oxo,silicon ii oxide,unii-1oqn9cbg7l,1oqn9cbg7l,silicon ii oxide, optical grade,sio,oxidosilicon,oxosilanylidene,oxosilylene
Numéro MDL MFCD00151536
CAS 10097-28-6
CID PubChem 66241
ChEBI CHEBI:30588
Nom IUPAC oxoniumylidynesilanide
Clé InChI LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N
SMILES [O+]#[Si-]
Formule moléculaire OSi
7

Titanium nitride sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.5% (metals basis)

CAS: 25583-20-4 Formule moléculaire: NTi Poids moléculaire (g/mol): 61.87 Numéro MDL: MFCD00049596 Clé InChI: NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Synonyme: titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a CID PubChem: 93091 Nom IUPAC: azanylidynetitanium SMILES: N#[Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 61.87
Synonyme titanium nitride,titanium nitride tin,nitridotitanium,unii-6rw464feff,titannitrid,titaniumylidyneamine,titanium mononitride,titanium nitride, <3 mum,6rw464feff,titanium nitride tin grade a
Numéro MDL MFCD00049596
CAS 25583-20-4
CID PubChem 93091
Nom IUPAC azanylidynetitanium
Clé InChI NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N
SMILES N#[Ti]
Formule moléculaire NTi
8

Silver sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-22-4 Formule moléculaire: Ag Poids moléculaire (g/mol): 107.87 Numéro MDL: MFCD00003397 Clé InChI: BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber CID PubChem: 23954 ChEBI: CHEBI:9141 Nom IUPAC: silver SMILES: [Ag]

Poids moléculaire (g/mol) 107.87
Synonyme argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber
Numéro MDL MFCD00003397
CAS 7440-22-4
CID PubChem 23954
ChEBI CHEBI:9141
Nom IUPAC silver
Clé InChI BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ag]
Formule moléculaire Ag
9

Aluminum sputtering target, 76.2mm (3.0 in.) dia. x 3.18mm (0.125 in.) thick, 99.999% (metals basis), Thermo Scientific Chemicals

CAS: 7429-90-5 Formule moléculaire: Al Poids moléculaire (g/mol): 26.98 Numéro MDL: MFCD00134029 Clé InChI: XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum CID PubChem: 5359268 ChEBI: CHEBI:33629 Nom IUPAC: aluminum SMILES: [Al]

Poids moléculaire (g/mol) 26.98
Synonyme aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum
Numéro MDL MFCD00134029
CAS 7429-90-5
CID PubChem 5359268
ChEBI CHEBI:33629
Nom IUPAC aluminum
Clé InChI XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Al]
Formule moléculaire Al
10

Tin sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.995% (metals basis)

CAS: 7440-31-5 Formule moléculaire: Sn Poids moléculaire (g/mol): 118.71 Numéro MDL: MFCD00133862 Clé InChI: ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: powder,stannum,metallic,tin, elemental,wang,zinn,flake,tin, metal,silver matt powder,zinn german CID PubChem: 5352426 ChEBI: CHEBI:32990 Nom IUPAC: tin SMILES: [Sn]

Poids moléculaire (g/mol) 118.71
Synonyme powder,stannum,metallic,tin, elemental,wang,zinn,flake,tin, metal,silver matt powder,zinn german
Numéro MDL MFCD00133862
CAS 7440-31-5
CID PubChem 5352426
ChEBI CHEBI:32990
Nom IUPAC tin
Clé InChI ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Sn]
Formule moléculaire Sn
11

Tungsten sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder CID PubChem: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom IUPAC: tungsten SMILES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
CAS 7440-33-7
CID PubChem 23964
ChEBI CHEBI:27998
Nom IUPAC tungsten
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SMILES [W]
Formule moléculaire W
12

Tungsten sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-33-7 Formule moléculaire: W Poids moléculaire (g/mol): 183.84 Numéro MDL: MFCD00011461 Clé InChI: WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N Synonyme: wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder CID PubChem: 23964 ChEBI: CHEBI:27998 Nom IUPAC: tungsten SMILES: [W]

Poids moléculaire (g/mol) 183.84
Synonyme wolfram,ion,va,tungsten, elemental,wolframium,unii-v9306cxo6g,4+ ion,tungsten, soluble compounds,tungsten, insoluble compounds,powder
Numéro MDL MFCD00011461
CAS 7440-33-7
CID PubChem 23964
ChEBI CHEBI:27998
Nom IUPAC tungsten
Clé InChI WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N
SMILES [W]
Formule moléculaire W
13

Copper sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.995% (metals basis)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer CID PubChem: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom IUPAC: copper SMILES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
CAS 7440-50-8
CID PubChem 23978
ChEBI CHEBI:30052
Nom IUPAC copper
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cu]
Formule moléculaire Cu
14

Titanium sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.995% (metals basis)

CAS: 7440-32-6 Formule moléculaire: Ti Poids moléculaire (g/mol): 47.87 Numéro MDL: MFCD00011264,MFCD00151301 Clé InChI: RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Synonyme: oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1 CID PubChem: 23963 ChEBI: CHEBI:33341 Nom IUPAC: titanium SMILES: [Ti]

Poids moléculaire (g/mol) 47.87
Synonyme oremet,alloy,cp,vt1,c.p.,contimet 30,jistp28,titanium-125,ii hydride,titan vt 1-1
Numéro MDL MFCD00011264,MFCD00151301
CAS 7440-32-6
CID PubChem 23963
ChEBI CHEBI:33341
Nom IUPAC titanium
Clé InChI RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ti]
Formule moléculaire Ti
15

Ytterbium sputtering target, 50.8mm dia x 1.59mm thick

CAS: 7440-64-4 Formule moléculaire: Yb Poids moléculaire (g/mol): 173.05 Numéro MDL: MFCD00011286 Clé InChI: NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n CID PubChem: 23992 ChEBI: CHEBI:33381 Nom IUPAC: ytterbium SMILES: [Yb]

Poids moléculaire (g/mol) 173.05
Synonyme unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n
Numéro MDL MFCD00011286
CAS 7440-64-4
CID PubChem 23992
ChEBI CHEBI:33381
Nom IUPAC ytterbium
Clé InChI NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Yb]
Formule moléculaire Yb