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Sputtering Targets

Sputtering Targets

Sputtering targets are specialized materials employed for thin-film deposition in various industries, including electronics, energy, and textiles. These targets can be composed of different elemental or alloy compositions, such as pure metals or ceramics, and are bombarded by ions, causing atoms or molecules to be ejected from their surface. These particles then deposit on a substrate to create a thin, uniform film. Different types of sputtering targets exist, including planar or rotary targets and a range of materials, such as gold, silver, titanium, and tungsten. Their selection depends on different factors like the application requirements, material properties, and compatibility with the sputtering system.
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1

Iron sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-89-6 Formule moléculaire: Fe Poids moléculaire (g/mol): 55.85 Numéro MDL: MFCD00010999 Clé InChI: XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Synonyme: ferrum,iron, elemental,ferrous,remko,armco,ferrovac,hoeganaes eh,3zhp,ancor b,atomiron 5m CID PubChem: 23925 ChEBI: CHEBI:82664 Nom IUPAC: iron SMILES: [Fe]

Poids moléculaire (g/mol) 55.85
Synonyme ferrum,iron, elemental,ferrous,remko,armco,ferrovac,hoeganaes eh,3zhp,ancor b,atomiron 5m
Numéro MDL MFCD00010999
CAS 7439-89-6
CID PubChem 23925
ChEBI CHEBI:82664
Nom IUPAC iron
Clé InChI XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Fe]
Formule moléculaire Fe
2

Silver sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.99% (metals basis)

CAS: 7440-22-4 Formule moléculaire: Ag Poids moléculaire (g/mol): 107.87 Numéro MDL: MFCD00003397 Clé InChI: BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Synonyme: argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber CID PubChem: 23954 ChEBI: CHEBI:9141 Nom IUPAC: silver SMILES: [Ag]

Poids moléculaire (g/mol) 107.87
Synonyme argentum,metal,atom,colloidal,silver, colloidal,silver, elemental,algaedyn,amalgum,epinall,silber
Numéro MDL MFCD00003397
CAS 7440-22-4
CID PubChem 23954
ChEBI CHEBI:9141
Nom IUPAC silver
Clé InChI BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ag]
Formule moléculaire Ag
3

Copper sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.999% (metals basis)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer CID PubChem: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom IUPAC: copper SMILES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
CAS 7440-50-8
CID PubChem 23978
ChEBI CHEBI:30052
Nom IUPAC copper
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cu]
Formule moléculaire Cu
4

Gadolinium sputtering target, 76.2mm dia x 3.18mm thick

CAS: 7440-54-2 Formule moléculaire: Gd Poids moléculaire (g/mol): 157.25 Numéro MDL: MFCD00011022 Clé InChI: UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds CID PubChem: 23982 ChEBI: CHEBI:33375 Nom IUPAC: gadolinium SMILES: [Gd]

Poids moléculaire (g/mol) 157.25
Synonyme atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds
Numéro MDL MFCD00011022
CAS 7440-54-2
CID PubChem 23982
ChEBI CHEBI:33375
Nom IUPAC gadolinium
Clé InChI UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Gd]
Formule moléculaire Gd
5

Cerium sputtering target, 76.2mm dia x 3.18mm thick

CAS: 7440-45-1 Formule moléculaire: Ce Poids moléculaire (g/mol): 140.12 Numéro MDL: MFCD00010924 Clé InChI: GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium CID PubChem: 23974 ChEBI: CHEBI:33369 Nom IUPAC: cerium SMILES: [Ce]

Poids moléculaire (g/mol) 140.12
Synonyme cerio,ingot,cerium, chips,foil, 3n,zer,ceramics-aeium,acmc-1bl5r,chips, 3n reo,powder,-200 mesh,cerium
Numéro MDL MFCD00010924
CAS 7440-45-1
CID PubChem 23974
ChEBI CHEBI:33369
Nom IUPAC cerium
Clé InChI GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Ce]
Formule moléculaire Ce
6

Ytterbium sputtering target, 50.8mm dia x 1.59mm thick

CAS: 7440-64-4 Formule moléculaire: Yb Poids moléculaire (g/mol): 173.05 Numéro MDL: MFCD00011286 Clé InChI: NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n CID PubChem: 23992 ChEBI: CHEBI:33381 Nom IUPAC: ytterbium SMILES: [Yb]

Poids moléculaire (g/mol) 173.05
Synonyme unii-mnq4o4wsi1,hydride,mnq4o4wsi1,foil, 3n,yterbio,ingot,powder,ii ion,chips, 3n,ingot, 3n
Numéro MDL MFCD00011286
CAS 7440-64-4
CID PubChem 23992
ChEBI CHEBI:33381
Nom IUPAC ytterbium
Clé InChI NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Yb]
Formule moléculaire Yb
7

Gadolinium sputtering target, 50.8mm dia x 3.18mm thick

CAS: 7440-54-2 Formule moléculaire: Gd Poids moléculaire (g/mol): 157.25 Numéro MDL: MFCD00011022 Clé InChI: UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds CID PubChem: 23982 ChEBI: CHEBI:33375 Nom IUPAC: gadolinium SMILES: [Gd]

Poids moléculaire (g/mol) 157.25
Synonyme atom,gadolinio,unii-au0v1lm3jt,trihydride,au0v1lm3jt,foil, 3n,gadolinium, elemental,ingot,gadolinium, chips,compounds
Numéro MDL MFCD00011022
CAS 7440-54-2
CID PubChem 23982
ChEBI CHEBI:33375
Nom IUPAC gadolinium
Clé InChI UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Gd]
Formule moléculaire Gd
8

Aluminum sputtering target, 76.2mm (3.0 in.) dia. x 3.18mm (0.125 in.) thick, 99.999% (metals basis), Thermo Scientific Chemicals

CAS: 7429-90-5 Formule moléculaire: Al Poids moléculaire (g/mol): 26.98 Numéro MDL: MFCD00134029 Clé InChI: XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum CID PubChem: 5359268 ChEBI: CHEBI:33629 Nom IUPAC: aluminum SMILES: [Al]

Poids moléculaire (g/mol) 26.98
Synonyme aluminum,metal,powder,aluminio,metana,adom,alumina fibre,aluminum flake,dust,noral aluminum
Numéro MDL MFCD00134029
CAS 7429-90-5
CID PubChem 5359268
ChEBI CHEBI:33629
Nom IUPAC aluminum
Clé InChI XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Al]
Formule moléculaire Al
9

Cobalt sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-48-4 Formule moléculaire: Co Poids moléculaire (g/mol): 58.93 Numéro MDL: MFCD00010935 Clé InChI: GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N Synonyme: kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride CID PubChem: 104730 ChEBI: CHEBI:27638 Nom IUPAC: cobalt SMILES: [Co]

Poids moléculaire (g/mol) 58.93
Synonyme kobalt,cobalto,moncation,co1+,cobaltum,powder,cobalt, ion co1+,hydrido,atom,hydride
Numéro MDL MFCD00010935
CAS 7440-48-4
CID PubChem 104730
ChEBI CHEBI:27638
Nom IUPAC cobalt
Clé InChI GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Co]
Formule moléculaire Co
10

Copper sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.999% (metals basis)

CAS: 7440-50-8 Formule moléculaire: Cu Poids moléculaire (g/mol): 63.55 Numéro MDL: MFCD00010965 Clé InChI: RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Synonyme: cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer CID PubChem: 23978 ChEBI: CHEBI:30052 Nom IUPAC: copper SMILES: [Cu]

Poids moléculaire (g/mol) 63.55
Synonyme cuprum,cobre,cuivre,blister,cathode,bronze,powder,anode,precipitates,kupfer
Numéro MDL MFCD00010965
CAS 7440-50-8
CID PubChem 23978
ChEBI CHEBI:30052
Nom IUPAC copper
Clé InChI RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cu]
Formule moléculaire Cu
11

Manganese sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-96-5 Formule moléculaire: Mn Poids moléculaire (g/mol): 54.94 Numéro MDL: MFCD00011111 Clé InChI: PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: colloidal,mangan,manganese, elemental,cutaval,magnacat,metal alloy,tronamang,fume,mangan polish,compounds CID PubChem: 23930 ChEBI: CHEBI:35154 Nom IUPAC: manganese SMILES: [Mn]

Poids moléculaire (g/mol) 54.94
Synonyme colloidal,mangan,manganese, elemental,cutaval,magnacat,metal alloy,tronamang,fume,mangan polish,compounds
Numéro MDL MFCD00011111
CAS 7439-96-5
CID PubChem 23930
ChEBI CHEBI:35154
Nom IUPAC manganese
Clé InChI PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Mn]
Formule moléculaire Mn
12

Chromium sputtering target, 76.2mm (3.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7440-47-3 Formule moléculaire: Cr Poids moléculaire (g/mol): 52.00 Numéro MDL: MFCD00010944 Clé InChI: VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Synonyme: chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159 CID PubChem: 23976 ChEBI: CHEBI:28073 Nom IUPAC: chromium SMILES: [Cr]

Poids moléculaire (g/mol) 52.00
Synonyme chrom,chrome,cromo,metal,chrome french,compounds,chrom german,chromium, elemental,chromium, metal,ccris 159
Numéro MDL MFCD00010944
CAS 7440-47-3
CID PubChem 23976
ChEBI CHEBI:28073
Nom IUPAC chromium
Clé InChI VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cr]
Formule moléculaire Cr
13

Molybdenum sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 3.18mm (0.125in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 7439-98-7 Formule moléculaire: Mo Poids moléculaire (g/mol): 95.95 Numéro MDL: MFCD00003465 Clé InChI: ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Synonyme: molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2 CID PubChem: 23932 ChEBI: CHEBI:28685 Nom IUPAC: molybdenum SMILES: [Mo]

Poids moléculaire (g/mol) 95.95
Synonyme molybdenum, elemental,6+ ion,mchvl,vi ion,molybdenum, metallic,metco 63,atom,molybdenum, ion 6+,tsm1,amperit 106.2
Numéro MDL MFCD00003465
CAS 7439-98-7
CID PubChem 23932
ChEBI CHEBI:28685
Nom IUPAC molybdenum
Clé InChI ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Mo]
Formule moléculaire Mo
14

Nickel Chromium, sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis)

CAS: 11106-97-1 Formule moléculaire: CrNi Poids moléculaire (g/mol): 110.69 Numéro MDL: MFCD00673110 Clé InChI: VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N Synonyme: nickel chromium,nickel-chromium,nicr,nickel chromium lump,chromium, compd. with nickel 1:1,chromium nickel,acmc-1byoe,nickel chromium powder,-140+325 mesh,nickel chromium wire, 1.0mm 0.04in dia,nickel chromium wire, 0.25mm 0.01in dia CID PubChem: 11320920 Nom IUPAC: chromium nickel SMILES: [Cr].[Ni]

Poids moléculaire (g/mol) 110.69
Synonyme nickel chromium,nickel-chromium,nicr,nickel chromium lump,chromium, compd. with nickel 1:1,chromium nickel,acmc-1byoe,nickel chromium powder,-140+325 mesh,nickel chromium wire, 1.0mm 0.04in dia,nickel chromium wire, 0.25mm 0.01in dia
Numéro MDL MFCD00673110
CAS 11106-97-1
CID PubChem 11320920
Nom IUPAC chromium nickel
Clé InChI VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Cr].[Ni]
Formule moléculaire CrNi
15

Niobium sputtering target, 50.8mm (2.0in) dia x 6.35mm (0.250in) thick, 99.95% (metals basis excluding Ta)

CAS: 7440-03-1 Formule moléculaire: Nb Poids moléculaire (g/mol): 92.91 Numéro MDL: MFCD00011126 Clé InChI: GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N Synonyme: columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio CID PubChem: 23936 ChEBI: CHEBI:33344 Nom IUPAC: niobium SMILES: [Nb]

Poids moléculaire (g/mol) 92.91
Synonyme columbium,element,niobium-93,powder,foil,rod,vn 1,foil, 0.25mm 0.01in thick,columbio,niobio
Numéro MDL MFCD00011126
CAS 7440-03-1
CID PubChem 23936
ChEBI CHEBI:33344
Nom IUPAC niobium
Clé InChI GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N
SMILES [Nb]
Formule moléculaire Nb